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对Nd∶YAG固体激光器倍频、三倍频激光输出在空气和水浴环境下刻蚀Si片进行了研究，分析了刻蚀速率和样品表面形貌，得出了在355 nm刻蚀波长下，水浴环境中，刻蚀速率最快，刻槽宽度最小，小于10 μm的实验结论，为工业应用提供参考.

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