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MSM(金属-半导体-金属)型光电探测器的较低寄生电容和高带宽的特点使得其应用广泛, 可用于空间通信、遥感等多方面, 但暗电流偏大仍是制约其发展的重要因素.为此, 本文研制了100×100 μm2 面积的InGaAs-MSM光电探测器, 通过设计InAlGaAs/InGaAs短周期超晶格和InAlAs肖特基势垒增强结构, 将器件暗电流密度降至0.6 pA/ μm2 (5 V偏置), 改善了目前同类...
半导体增益介质对MSM等离子体波导的传输损耗补偿研究
半导体增益介质 MSM 等离子体波导 时域有限差分法 无损传播
2013/11/19
为了深入地研究在紫外波长范围内利用增益介质补偿等离子传输损耗，设计了具有半导体增益介质的金属-半导体-金属（Metal-Semiconductor-Metal，MSM）等离子体光波导结构。基于时域有限差分法（FDTD），对该波导结构的传输损耗、有效折射率随几何结构的依赖关系进行了分析。进一步研究了利用II-VI 族半导体ZnO 作为增益介质时的无损传播条件。结果表明，当ZnO 宽度为80 nm 时...
MSM结构ZnO紫外探测器的制备及光电性能研究
ZnO薄膜 紫外探测器 MSM结构 光电性能
2011/11/7
采用磁控溅射方法，在石英衬底上制备了光电性能优良的ZnO紫外探测器。通过紫外光电性能测试、扫描电子显微镜（SEM）观察及X射线衍射（XRD）分析，研究了ZnO紫外 探测器的光电特性。结果表明：探测器的光电流高出暗电流近3个数量级，紫外波段的光响应高出可见光波段近2个数量级，所制备ZnO紫外探测器达到了高辐射灵敏度和可见盲特性 的要求。