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多碱阴极XPS分析研究多碱阴极能谱刻蚀束缚能原子 2013/10/10

介绍了多碱阴极的特点及其在超二代像增强器中的应用。叙述了多碱阴极进行制作和封接，之后在XPS 分析仪器的预真空室中进行解封并送入仪器分析室进行分析的过程。对多碱阴极不同膜层厚度处各元素原子的百分比进行了XPS 分析。首先对多碱阴极的表面进行宽谱扫描，发现元素之后再针对各个元素进行窄谱扫描，之后进行氩离子刻蚀。刻蚀一定时间后再对多碱阴极表面进行宽谱或窄谱扫描，氩离子刻蚀一直进行到阴极玻璃窗的表面。通...