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上海微系统所在300 mm SOI晶圆制造技术方面实现突破（图）
晶圆制造 薄膜沉积
2023/10/20
2023年10月20日，上海微系统所魏星研究员团队在300 mm SOI晶圆制造技术方面取得突破性进展，制备出了国内第一片300 mm 射频（RF）SOI晶圆。团队基于集成电路材料全国重点实验室300 mm SOI研发平台，依次解决了300 mm RF-SOI晶圆所需的低氧高阻晶体制备、低应力高电阻率多晶硅薄膜沉积、非接触式平坦化等诸多核心技术难题，实现了国内300mm SOI制造技术从无到有的重...
Ф750 mm口径望远镜光学系统的检测
望远镜 光学检测 补偿器 平行光管测量
2012/11/25
为了探测更高轨道的空间目标,研制了一台通光口径为Ф750 mm的望远镜.该望远镜为主焦点光学系统,由一片二次非球面反射元件和四片透射元件组成,具有大视场(4°),大相对孔径(1∶1.32)和宽光谱(500~800 nm)的特点.本文以该望远镜的研制为基础,介绍了其光学系统各个元件的单独检测和系统装调完成后的整体检测方法和过程.采用样板法对系统中的球面透射元件进行了单独检测,采用透射无像差补偿器法对...
针对国家同步辐射实验室燃烧与火焰实验站中1 m Seya-Namioka 单色仪对光栅的需求,采用全息离子束刻蚀工艺制作了1 200 lp/mm Laminar光栅。首先,通过光刻胶灰化技术调节光刻胶光栅掩模占空比,在理论设计的误差允许范围内,对此光栅掩模进行扫描离子束刻蚀;然后,将光栅图形转移到光栅基底中去除残余光刻胶;最后,采用离子束溅射法镀制厚约40 nm的金反射膜,采用热蒸发法镀制厚约60...
A 1 mm Scintillating Fibre Tracker Readout by a Multi-anode Photomultiplier
Multi-anode Scintillating Fibre Tracker Readout
2011/7/5
This technical note describes a prototype particle tracking detector constructed with 1 mm plastic scintillating bres with a 64 channel Hamamatsu H8500
at-panel multi-anode photomultiplier readout....
水合氢离子团簇从头算和ABEEM/MM的理论研究
水合氢离子 从头计算方法 ABEEM/MM模型
2009/11/25
本文应用高水平的从头计算方法和ABEEM/MM模型，研究了水合氢离子团簇H3O+(H2O)n(n=1-6)，优化得到了低能构象，探讨了其结合能和稳定性，显示出H3O+(H2O)3局域结构的优势存在，并对H3O+(H2O)6Ⅵa团簇的ABEEM电荷分布进行分析．结果表明，ABEEM/MM方法计算的结果和从头算得到的结果存在很好的一致性．
70 mm高速摄影机抓片机构动平衡计算
高速摄影机 动平衡计算 曲柄摇杆式抓片机构 MSC/Visual Nastran
2008/3/16
对70 mm间歇式同步高速摄影机的曲柄摇杆式抓片机构动平衡计算方法、实施途径和结果进行了分析研究.利用MSC/Visual Nastran Desktop软件,在该抓片机构虚拟样机上进行了动平衡计算.计算结果为工程设计提供了可靠的设计数据和理论依据,改善了实际的动平衡质量,提高了摄影频率.应用实践证明,采用动力学仿真方法进行动平衡计算,可简化抓片机构动平衡的计算过程,并提高了计算准确度和设计效率....
期刊信息
篇名
Theoretical analysis of two-dimensional photonic crystal spot-size converter in Si for 1.55 mm operation
语种
中文
撰写或编译
撰写
作者
Yuzhou Zhao,Baojun Li,and Xiying Ma
第一作者单位
中山大学
刊物名称
Optical Enginee...
RS CVn type eclipsing binary MM Herculis have been observed using B, V, R filters in 1997 and obtained light and colour curves were examined together with the earlier 12 light and colour curves obtain...