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利用MATLAB进行焦平面探测器的In柱高度自动统计
红外焦平面阵列 In柱 激光共聚焦显微镜 MATLAB
2013/11/10
In 柱制备是红外焦平面器件倒焊互连的关键工艺，In 柱高度是评价In 柱制备工艺水平的基本指标。通常的In 柱高度统计方法为随机采样人工显微镜观测法，此方法由于采样点较少将导致统计结果不全面，另一方面由于In 柱表面形貌的微观特性，人工显微镜观测引入的主观偏差将使统计结果不准确。提出了一种更合理可行的In 柱高度统计方法，首先使用激光共聚焦显微镜对In 柱表面形貌进行扫描，再利用MATLAB 软...